LPVD技术
(资料图片)
1、 激光物理气相沉积(LaserPlysial VapourDepostion简称LPVD) 的基本原理是在真空室内安放靶材和基体。
2、激光照射于蒸镀材料的表面，利用激光的高能量使蒸镀材料加热蒸发，并在基体表面沉积形成膜层。
3、激光束经过聚集后有极高的能量密度，可以使包括非导电的陶瓷材料在内的几乎所有的高熔点材料直接蒸发。
4、激光束照射到靶材表面，使之发生溅射，剥离的物质沉积在基体上形成的纯净薄膜，又称激光剥离沉积。
5、。
文章到此就分享结束，希望对大家有所帮助。
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